ソフトウェア

フィールドサービスの経験を基本にし半導体業界十数年の技術力で,お客様の要望を具現化致します。

データ収集ソフト枚葉EPI装置

各種データをSECS通信により問い合わせ該当するデータを記録し、リアルタイムにモニター致します。
処理開始のメッセージによりデータを記録し、処理終了のメッセージにより記録したデータをCSVファイル形式で順次保存していきます。
 
またモニタリング中のデータをグラフ化しデータの変動をグラフにより確認することも出来ます。SECSを使用しているので装置イベント及びアラームなどもメッセージにより取り込むことが出来ます。イベント・アラームはそれぞれ保存されます。

プロトコルコンバーター 枚葉ETCH、バッヂ式ETCH装置

装置及びHOSTとSECS通信を行い,自動化運用の支援を行ったり,装置各種データを記録・保存することもできます。

プロトコルコンバーター インプラント装置


インプラ装置PC DOS/V化
(プロコンを設計開発)
インプラ装置
処理データ記録システム
(プロセス処理データを
パソコンに記録

DNS636 コントローラー


装置組込型制御パネルのボタン部凹みや画面画像不良をPC化にすることによって解決。

PC-98→DOS/Vへ

PC-98で稼動中のシステムを
DOS/Vへ移行、OSの変更、
システムの効率化等ご相談ください。

ソフトウェア


ケース1 オンライン
工場のHOSTコンピューターと装置を接続しレシピ管理・ロット管理・プロセスデータ管理などを実現します。

 

 

 


ケース2 データ管理
装置のプロセスデータを収集し装置を管理します。
データ異常を感知すると、装置を一時停止させ、大量のウエハ不良を防ぐことができます。

 

 

 


ケース3 ツール
レシピエディター、エミュレーター、
データ解析、ペーパーレス化など

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